Tytuł
Changes on the silicon surface radiating it by halocarbon and/or hydrogen plasma
Autorzy
[ 1 ] Instytut Fizyki, Wydział Fizyki Technicznej, Politechnika Poznańska | [ P ] pracownik
Rok publikacji
2004
Opublikowano w
Typ artykułu
artykuł naukowy
Język publikacji
angielski
Strony (od-do)
229 - 233
System tworzony przez Politechnikę Poznańską
oraz Poznańskie Centrum Superkomputerowo-Sieciowe
Zaloguj się przez eKonto, aby dodać do SIN