Physics and chemistry of solid state changes on the silicon surface radiating it by halocarbon and/or hydrogen plasma

PL EN

Strona główna / Publikacje / Physics and chemistry of solid state changes on the silicon surface radiating it by halocarbon and/or hydrogen plasma

Zgłoś uwagę

Artykuł

Pobierz BibTeX

Tytuł

Physics and chemistry of solid state changes on the silicon surface radiating it by halocarbon and/or hydrogen plasma

Autorzy

^{[ 1 ]} Instytut Fizyki, Wydział Fizyki Technicznej, Politechnika Poznańska | ^{[ P ]} pracownik

Rok publikacji

2004

Opublikowano w

Rocznik: 2004 | Tom: tom VI

Typ artykułu

artykuł naukowy

Język publikacji

polski

Strony (od-do)

229 - 233

Zaloguj się przez eKonto, aby dodać do SIN