SIS PUT | Sporządzenie dokumentacji technicznej układu pompowego aparatury do wytwarzania cienkich warstw półprzewodnikowych metodą flash evaporatio

Scientific Information System of the Poznań University of Technology

PL EN

Main page / Reports / Sporządzenie dokumentacji technicznej układu pompowego aparatury do wytwarzania cienkich warstw półprzewodnikowych metodą flash evaporatio

Submit a comment

Report

Works title

Sporządzenie dokumentacji technicznej układu pompowego aparatury do wytwarzania cienkich warstw półprzewodnikowych metodą flash evaporatio

Authors

Semir El-Ahmar (WIMiFT) ^{[ 1 ][ P ]}

^{[ 1 ]} Instytut Fizyki, Wydział Inżynierii Materiałowej i Fizyki Technicznej, Politechnika Poznańska | ^{[ P ]} employee

Work ID

r1842_2021

Keywords

układ pompowy
vacuum system
parowanie wybuchowe
flash evaporation

Date

16.04.2021

Language

polish

Number of pages or volume of work

Type of work

know-how

System created by Poznań University of Technology and Poznan Supercomputing and Networking Center