W zależności od ilości danych do przetworzenia generowanie pliku może się wydłużyć.

Jeśli generowanie trwa zbyt długo można ograniczyć dane np. zmniejszając zakres lat.

Artykuł

Pobierz BibTeX

Tytuł

A low-cost, simple optical setup for a fast scatterometry surface roughness measurements with nanometric precision

Autorzy

[ 1 ] Instytut Technologii Mechanicznej, Wydział Inżynierii Mechanicznej, Politechnika Poznańska | [ P ] pracownik | [ S ] student

Dyscyplina naukowa (Ustawa 2.0)

[2.9] Inżynieria mechaniczna

Rok publikacji

2020

Opublikowano w

Bulletin of the Polish Academy of Sciences. Technical Sciences

Rocznik: 2020 | Tom: vol. 68 | Numer: no. 3

Typ artykułu

artykuł naukowy

Język publikacji

angielski

Słowa kluczowe
EN
  • scatterometry
  • surface texture
  • optical measurement systems
  • surface metrology
  • surface roughness
Strony (od-do)

485 - 490

DOI

10.24425/bpasts.2020.133364

URL

http://journals.pan.pl/Content/116520/PDF/10_485-490_01475_Bpast.No.68-3_30.06.20_K3A_TeX.pdf

Typ licencji

CC BY-NC-ND (uznanie autorstwa - użycie niekomercyjne - bez utworów zależnych)

Tryb otwartego dostępu

otwarte czasopismo

Wersja tekstu w otwartym dostępie

ostateczna wersja opublikowana

Czas udostępnienia publikacji w sposób otwarty

w momencie opublikowania

Punktacja Ministerstwa / czasopismo

100

Punktacja Ministerstwa / czasopismo w ewaluacji 2017-2021

100

Impact Factor

1,662

Ta strona używa plików Cookies, w celu zapamiętania uwierzytelnionej sesji użytkownika. Aby dowiedzieć się więcej przeczytaj o plikach Cookies i Polityce Prywatności.