Przetwarzanie może potrwać kilka sekund...

Artykuł

Tytuł

A low-cost, simple optical setup for a fast scatterometry surface roughness measurements with nanometric precision

Autorzy

[ 1 ] Instytut Technologii Mechanicznej, Wydział Inżynierii Mechanicznej, Politechnika Poznańska | [ P ] pracownik | [ S ] student

Dyscyplina naukowa (Ustawa 2.0)

2.8 Inżynieria mechaniczna

Rok publikacji

2020

Opublikowano w

Bulletin of the Polish Academy of Sciences. Technical Sciences

Rocznik: 2020 | Tom: vol. 68 | Numer: no. 3

Typ artykułu

artykuł naukowy

Język publikacji

angielski

Słowa kluczowe
EN
  • scatterometry
  • surface texture
  • optical measurement systems
  • surface metrology
  • surface roughness
Strony (od-do)

485 - 490

DOI

10.24425/bpasts.2020.133364

URL

http://journals.pan.pl/Content/116520/PDF/10_485-490_01475_Bpast.No.68-3_30.06.20_K3A_TeX.pdf

Typ licencji

CC BY-NC-ND (uznanie autorstwa - użycie niekomercyjne - bez utworów zależnych)

Tryb otwartego dostępu

otwarte czasopismo

Wersja tekstu w otwartym dostępie

ostateczna wersja opublikowana

Data udostępnienia publikacji w sposób otwarty

w momencie opublikowania

Punktacja MNiSW / czasopismo

100 [Lista 2019]

Impact Factor

1,385 [Lista 2019]