SIN PP | Sporządzenie dokumentacji technicznej układu pompowego aparatury do wytwarzania cienkich warstw półprzewodnikowych metodą flash evaporatio

System Informacji Naukowej Politechniki Poznańskiej

PL EN

Strona główna / Raporty / Sporządzenie dokumentacji technicznej układu pompowego aparatury do wytwarzania cienkich warstw półprzewodnikowych metodą flash evaporatio

Zgłoś uwagę

Raport

Tytuł dzieła

Sporządzenie dokumentacji technicznej układu pompowego aparatury do wytwarzania cienkich warstw półprzewodnikowych metodą flash evaporatio

Autorzy

Semir El-Ahmar (WIMiFT) ^{[ 1 ][ P ]}

^{[ 1 ]} Instytut Fizyki, Wydział Inżynierii Materiałowej i Fizyki Technicznej, Politechnika Poznańska | ^{[ P ]} pracownik

Identyfikator dzieła

r1842_2021

Słowa kluczowe

układ pompowy
vacuum system
parowanie wybuchowe
flash evaporation

Data

16.04.2021

Język

polski

Liczba stron lub objętość dzieła

Typ dzieła

know-how

System tworzony przez Politechnikę Poznańską oraz Poznańskie Centrum Superkomputerowo-Sieciowe

Zaloguj się przez eKonto, aby dodać do SIN