Przetwarzanie może potrwać kilka sekund...

Raport

Tytuł dzieła

Sporządzenie dokumentacji technicznej układu pompowego aparatury do wytwarzania cienkich warstw półprzewodnikowych metodą flash evaporatio

Autorzy

[ 1 ] Instytut Fizyki, Wydział Inżynierii Materiałowej i Fizyki Technicznej, Politechnika Poznańska | [ P ] pracownik

Identyfikator dzieła

r1842_2021

Słowa kluczowe
PL
  • układ pompowy
  • vacuum system
  • parowanie wybuchowe
  • flash evaporation
Data

16.04.2021

Język

polski

Liczba stron lub objętość dzieła

2

Typ dzieła

dokumentacja techniczna