High resolution surface analysis of Si roughening in dilute ammonium fluoride solution

PL EN

Strona główna / Publikacje / High resolution surface analysis of Si roughening in dilute ammonium fluoride solution

Zgłoś uwagę

Artykuł

Pobierz BibTeX

Tytuł

High resolution surface analysis of Si roughening in dilute ammonium fluoride solution

Autorzy

^{[ 1 ]} Instytut Inżynierii Materiałowej, Wydział Budowy Maszyn i Zarządzania, Politechnika Poznańska | ^{[ P ]} pracownik

Rok publikacji

2003

Opublikowano w

Rocznik: 2003 | Tom: vol. 540

Typ artykułu

artykuł naukowy

Język publikacji

angielski

Strony (od-do)

3 - 6

Zaloguj się przez eKonto, aby dodać do SIN